1月8日快科技消息,上海市先导产业促进中心公众号发文,国内首条二维半导体工程化示范工艺线在上海投入运行。
该工艺线由复旦大学孵化培育的产学研企业原集微创建,预计于6月进入通线阶段,并在第三季度实现等效硅基90纳米制程。
集成电路是上海市三大先导产业之一,而二维半导体作为下一代半导体技术的前沿方向,被视为破解芯片发展瓶颈的关键突破口。二维半导体凭借其原子级厚度、高载流子迁移率等独特优势,有望突破硅基技术路线下摩尔定律逐渐失效的困境,在高频通信、柔性电子及量子计算等领域具有广阔应用前景。
目前,最常见的芯片仍基于硅基材料制造。但随着晶体管尺寸持续微缩,硅基芯片的制造难度呈指数级上升。有观点形象地比喻:硅基晶体管如同水龙头,电子如同水流;当水管越来越细,内壁会变得粗糙,导致水流速度下降、效率降低。
相较之下,二维半导体材料的厚度仅为原子级别,突破了硅基材料的物理极限,从而有效解决了硅基芯片中电子逃逸等难题。当前,美国、欧盟等均已加大在二维半导体材料科研与产业化方面的投入。
复旦大学校长金力表示,该校是国内二维材料研究的重要力量,在集成电路设计、工艺迭代与逻辑验证等领域处于国内领先地位,为技术转化奠定了扎实基础。原集微工艺线的投运,正是复旦大学基础研究—应用研究—产业转化全链条创新能力的一次集中体现。
原集微创始人包文中进一步透露:我们计划在未来2到3年内,依托该示范线的工艺能力,实现等效硅基5纳米乃至3纳米的性能水平,并力争在4年内展示等效硅基1纳米性能的解决方案。

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